P μ,. Œμ α 1,. ²μ ± 1,.. ϱ Î, Ÿ. Ê Í± 2 Œˆ ˆ Œ Š Ÿ Š Ÿ ˆ ˆŒ ˆˆ. ² μ Ê ² μ Ò É Ì ± Ô± ³ É

Transcript

1 P μ,. Œμ α 1,. ²μ ± 1,.. ϱ Î, Ÿ. Ê Í± 2 Œˆ ˆ Œ Š Ÿ Š Ÿ ˆ ˆŒ ˆˆ ² μ Ê ² μ Ò É Ì ± Ô± ³ É 1ˆ É ÉÊÉ Éμ³ μ Ô, ±Ä Ï, μ²óï 2 Ì μ²μ Î ± Ê É É, Õ ², μ²óï

2 μ... P μ ³ μ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ ÊÎ±μ ²Ö μ μ ³ ² É Í ÉμÖÐ μé μ μí μ μ Ö μ μ ÊÌ Éμ³ ÒÌ ³μ² ±Ê² ²Ö Í ² μ μ ³ ² É Í. μ μí ± Ì ² Î μ ÒÌ Éμ±μ μé μï Ö ±μ Í É Í ³μ² ±Ê² ± ±μ Í É Í Éμ³μ Ö μ ± ³ ÉμÎ ±. ± μ ² Ò μé μ É ²Ó Ò Î Ö β/κ 1 ²Ö ÒÌ Ö Ö. μé Ò μ² μ Éμ Ö ÒÌ μ ² ³ ³... ² μ ˆŸˆ ˆ É ÉÊÉ Ë ± ŒŠ, Õ ², μ²óï. É Ñ μ μ É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ. Ê, 2009 Vaganov Yu. A. et al. P Formation of Molecular Beams for Ion Implantation The process of formation of diatomic molecule ions for implantation purposes is described in the present paper. The mean values of ion currents and molecular concentration ratio to atomic concentration in a discharge chamber were estimated. The relative β/κ 1 values for different discharge voltages were also determined. The investigation has been performed at the Dzhelepov Laboratory of Nuclear Problems, JINR, and at the Institute of Physics UMCS, Lublin, Poland. Preprint of the Joint Institute for Nuclear Research. Dubna, 2009

3 ˆ ˆμ Ö ³ ² É Í Ö Ìμ É Ï μ±μ μ ³ ± ± É Ì- ±, É ± ÊÎ ÒÌ ² μ ÖÌ. μ μ ² É Ö ² Ö É μ É ²μ μ μ, Ê ±μ Ö ³ÒÌ μ Ô μé Öɱμ μ ±μ²ó± Ì μé ±Ô ( ÉμÖÐ ³Ö μ ±μ²ó± Ì ŒÔ ). Ò É Ò μ Ò - ³μ É μ Ì μ ÉÓÕ É μé ²Ó ÒÌ ³ Ï μ μ ÕÉ ³ μ É μ ÔËË ±Éμ : Ò² ³ É ² ³ Ï, Ô³ Õ Ô² ±É μ μ, Ì ³ Î ± ±Í, μ Ê μ Í Õ Éμ³μ ³ Ï, ³ Ð Éμ³μ ± - É ²² Î ±μ Ï É± Ì μ μ μ μ²μ, μ, - ( ³ ² É Í Ö) ÕÐ Ì Éμ³μ ± É ²² Î ±ÊÕ Ï É±Ê ³ Ï. ² É ³ ÔÉ Ì μí μ Ö ²Ö É Ö ³ Ë ±μ-ì ³ Î ± Ì μ É μ³ Ê ³μ μ ³ É ². ²ÊÎ ³ É ²² Î ± Ì ³ Ï ÔÉ ³ Ö ± ÕÉ Ö É μ²μ Î ± Ì μ É, É ± Ì ± ± É, É μ ÉÓ, Ï - ³μ ÉÓ, É ± μ³ É Î ± Ö É Ê±ÉÊ μ ²ÊÎ ³μ μ Ì μ É ( ³, Ï μìμ Éμ ÉÓ). ÒÏ Î ² Ò μ É ³ ÕÉ ÊÐ É μ - Î μ ³ μ Ì μ ² ÉÖÌ Ê± É Ì ±, ³, Í μ μ ³ Ì - ±, μ É ±, Ö μ Ô É ± ³ Í μ μ É Ì Ê - Î ± Ì ³ ² É Éμ. ² É ÔÉμ μ É μ É Ö μî Ò³, ÎÉμ μ Ö ³ ² É Í Ö É ÊÕ μ²ó μ ³ μ³ ³, ±²ÕÎ Ö ³. ˆμ Ö ³ ² É Í Ö μ²êî ² Ï μ±μ ³ ³ ± μô² ±É μ ± μ²ê μ μ ±μ μ ³ÒÌ Ì μ μ, μ μ, É μ- ÒÌ Ô² ±É μ ÒÌ μ É Î ± Ì Ì ³. Éμ μ Ê ²μ ² μ É ³, ÎÉμ μ ³ μ Ì ²ÊÎ ÖÌ μ É μ ³μ μ ÉÓ μé± ÉÓ Ö μé ËËÊ μ ÒÌ ³ Éμ μ ³μ Ë - ± Í μ É É ÒÌ É ², ËËÊ μ ÒÌ, É ³ É ³ Î ± Ì. ˆμ Ö ³ ² É Í Ö Ö ²Ö É Ö Ìμ²μ Ò³ μí μ³, ±μ É μ² Ê ³Ò³ Éμα Ö É μ μ, Ì Ô, μ Ì μ É μ ²μÉ μ É - Ö ³ ÊÕ ²Ê Ê μ Í, É ± μìμ Ö μ μ É ³ ÉÊ. ˆ³ ² É Í É μé ²Ó Ò ³ Ï μ μ É Ö μ³μð Í - ²Ó μ Î ÒÌ ²Ö ÔÉμ μ Ê É μ μ±, É ± Ò ³ÒÌ ³ ² É Éμ μ μ μ [1]. ±μ ±μéμ ÒÌ ²ÊÎ ÖÌ μ²ó ÊÕÉ Ö É ± Ô² ±É μ³ - É Ò Éμ Ò μéμ μ off-line on-line, μ Ò, μ, ²Ö 1

4 Ö μ Ë ± [2]. μéö μ ³ μ Ì É ± Ì Éμ Ì ² μ ÒÌ Éμ±μ ³² ³ ²Ö Í ² ³ ² É Í, μ μ ² ÉÓ Ô μ μ μ²óï - É ²ÊÎ μμé É É Ê É É μ Ö³ Ô± ³ É, μ ±μ²ó±ê μ²ó- Ê ³μ Éμ Ì Ê ±μ ÖÕÐ Ö, ± ± ²μ, ÒÏ É 30Ä100 ±. μ ²Ö Ê ² Î Ö Ô ³ ² É Í ³ - Éμ Ì ³μ μ μ²ó μ ÉÓ ³ μ μ Ö Ò μ Ò, ²Ö ±μéμ ÒÌ E = neu, n Å ± É μ ÉÓ μ Í, e Å Ö Ô² ±É μ U Å Ê ±μ ÖÕÐ Ö. μõ μî Ó, ²Ö ±μô É Î ± Ì ³ ² É Í ±μ³ Ê É Ö - ³ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ (Î Ð μ ÊÌ Éμ³ ÒÌ ³μ² ±Ê²), μ ±μ²ó±ê μê ³ Ï ÓÕ ³μ² ±Ê² É Ö Éμ³Ò, Ô Ö ±μéμ- ÒÌ ³ ÓÏ Ô Î μ μ μ. ˆ μ²ó μ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ ²Ö ³ ² É Í É Ê ³ÊÐ É. ³ Ì Ö ²Ö É Ö μ - ³μ μ ÉÓ μ± Ð Ö ³ ³ ² É Í ² μ Ö μ²óï ³ μ, μ ³μ μ³ Ê ³ÊÕ ³ Ï Ó. Š μ³ ÔÉμ μ, ±μéμ ÒÌ ²ÊÎ ÖÌ - ³ μ ³ ² É Ê ³μ μ Ô² ³ É μ² ÔËË ±É μ Éμα Ö Ê ²μ μéò μ μ μ ÉμÎ ±. ÉμÖÐ É ÉÓ ³Ò μ Î ³ Ö μ ³ μí Í μ- μ ÊÌ Éμ³ ÒÌ ³μ² ±Ê². É μ Ò μ ² Ó μ μ³ ÉμÎ ± É ³ É μ, ² Î Ò ÉÒ ±μéμ μ μ μ²ó ÊÕÉ Ö Ô² ±É μ³ É ÒÌ ³ - Éμ Ì ± ± Ÿ ˆŸˆ [3, 4], É ± ˆ ŒŠ, Õ ² [5, 6]. 1. ˆ ˆŠ ˆ ˆ Ÿ Œ œ Œˆ ˆŸ ˆ. 1 É ² Ì ³ ³ É μ μ μ ÉμÎ ± μ μ. μ μ μ Î ÉÓÕ Ö ²Ö É Ö Ö Ö ± ³, μéμ ² Ö ³μ². - Ö μ Ò μ² Ö É μ²ó μ. ÊÉ ± ³ Ò μ²μ μ²óë ³μ Ò ± Éμ Š. É ³ μ É Ö ³ É μ μ², ²μ Ò ² ±μéμ μ μ - ² Ò ²² ²Ó μ ± Éμ Ê. μ³μðóõ μ Ò ³μ μ ÉμÎ ± ³μ μ μ ÉÓ Êα μ μ ± ± μ, É ± É ÒÌ É ². μ ² ³ ²ÊÎ É - μ É ²μ μ É μ ÉμÖ. ²Ö ÔÉμ Í ² ²Ê É Î±, μ μ ³ Ö Ê Ô² ±É Î ± ³ Éμ±μ³. μ Ò Î± Ò - ²ÖÕÉ Ö Ö ÊÕ ± ³ Ê, μ Ìμ É Ì μ Í Ö. ˆ³ ² É Ê- ³Ò μ É Ö Ö ÊÕ ± ³ Ê Î μ²óî ÉÒ É ²Ó. ²ÊÎ ³ ² É Í μ ÒÌ μ ±μ² Î É μ ±μ É μ² Ê É Ö ³ - É ²Ó μ É ³μ ˆ. μ Ò Ö μ ± ³ μ Ò ËËÊ ÊÕÉ Î μé É μ ² Ê ±μ Ö ² ³ É μ³ μ² Éμ μ ÕÉ ± ³ Ê ±μ²² ±Éμ, μ²μ Ò μ ²ÊÎ ³Ò μ ÍÒ. μ ³ ² É Í ³ Ö É Ö μ³μðóõ Í ² Ö. Éμ Ò μ ² ÉÓ μ É ³ ²Ó Ò ³ É Ò μéò μ μ ÉμÎ ± μ μ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ, ³ μé Ê μð Ö ³μ ²Ó 2

5 . 1. Šμ É Ê±Í Ö ³ É μ μ μ μ μ μ ÉμÎ ± : Š Å ± Éμ, Å μ, ƒ Å ³±μ ÉÓ μ³, ˆ Å ³ É ²Ó Ö É ³, Å μ²óî ÉÒ É ²Ó, Šα, Å μé É μ É Ö ² μí μ, μ Ìμ ÖÐ Ì Ö μ ± ³ ÉμÎ ±. μ²μ ³, ÎÉμ μ Ñ ³ Ö μ ± ³ Ò ÉμÎ ± ÊÐ É Ê É - ² ² ³ ² É Ê ³μ μ Ð É μ Ö ± ³³ É. É., É ± ÎÉμ ³ Ê μ ÖÎ ³ ± Éμ μ³ μ μ³ ÉÓ Ö ±μ²ó±μ Öɱμ μ²óé. É ± Ì Ê ²μ ÖÌ μ ± É ² ³, ±μéμ Ö μ² Ö É ±- É Î ± Ó μ Ñ ³ ÉμÎ ± μ²ö Ò ²μ μ Ñ ³ μ μ Ö (Éμ²- Ð μ μ Ö ± ±μ ² Ò Ô± μ Ö), μé ²ÖÕÐ ² ³Ê μé Ô² ³ Éμ ±μ É Ê±Í μ μ μ ÉμÎ ±. ² ³ μ Í Ö μ Ìμ- É ² Ò³ μ μ³ Ê²ÓÉ É Éμ²± μ Ö Éμ³μ ³ ² É μ μ μ Ð É Î Ò³ Éμ Î Ò³ Ô² ±É μ ³ [7]. μôéμ³ê É ÉμÎ ± μé μ É ²Ó μ ² ±μ ±μ É μ² μ ÉÓ, ³ ÖÖ ² ± ³, Ö Ö ² ³ ÖÖ ²μÉ μ ÉÓ Éμ± Ô² ±É μ μ, Ô³ É μ ÒÌ μ ÖÎ μ ± Éμ. μ Ö ÉμÎ ± ² ³ μ Éμ É μ μ μ± É μ μ²μ- É ²Ó μ Ö ÒÌ μ μ ±μ Í É Í n + Ô² ±É μ μ ±μ Í É - Í n e. μ, ± μ³ Ì, ² ³ ÊÐ É ÊÕÉ É ± μ Ò Ò Ï Ì μ Ö ±μ ±μ Í É Í n 2+, n 3+ ³μ² ±Ê²Ö Ò μ Ò, ³ n + 2 É.., - Ê ³Ò μí Ì: A + e A + +2e, κ 1, (1) A + e A z+ +(z +1)e, κ 2, (2) 3

6 A + A + A + 2, κ 3, (3) A 2 + e A e, κ 4, (4)... ² Î Ò κ 1 κ 4 Ê (1)Ä(4) Ö ²ÖÕÉ Ö ±μôëë Í É ³ μ - Í, ±μéμ Ò μ ²ÖÕÉ Ö Î ³ μ Í μ Ëμ ³Ê² ³ κ 1,2,4 = υ e f(υ e )σ 1,2,4 (υ e )dυ e, (5) κ 3 = υ + f(υ + )σ 3 (υ + )dυ +, (6) f(υ e ) Å ËÊ ±Í Ö ² Ö ±μ μ É Ô² ±É μ μ ² ³ μ μ μ ÉμÎ ± ; υ e Å ±μ μ ÉÓ Ô² ±É μ μ ² ³ ; σ Å Î μ Í Éμ³μ Ô² ±É μ ³ μí Ì 1, 2, 4; f(υ + ) Å ËÊ ±Í Ö ² Ö ±μ μ É μ²μ É ²Ó ÒÌ μ μ ² ³. μ ³ μ μ μ ³ μ μ ² ³ ÉμÎ ± ÊÐ É ÊÕÉ Ê μí Ò, ±μéμ Ò Ê³ ÓÏ ÕÉ ±μ Í É Í Õ μ μ μ ² μ μ Ö. Ï ³ Ì Ö ²Ö É Ö ËËÊ Ö μ μ ± μ ÖÎ ³Ê ± Éμ Ê Î É ÉμÎ ± μé Í ² ± Éμ, É ± ±μ³ Í Ö Ô² ±É μ ³ ² ³Ò. ³ ³, ÎÉμ μé μ μ μìμ Î Ô± É ±Í μ μ μé- É ÉμÎ ± Î É ²Ó Ò. μ μ ÉμÖ É ³μ ³ Î ±μ μ - μ Ö ²Ö μé ²Ó ÒÌ μ É ²ÖÕÐ Ì ² ³Ò ÉμÎ ± ³μ μ μ³ ² μ ÉÓ Ò³ Ëμ ³Ê² ³. ²Ö μ μ± É μ μ μ ÒÌ μ μ [8] j + e S =3Vn enκ 1 Ω 1, (7) Ω 1 = 4 3 ( m 2kT a ) 1 2 0, 25υ A(R 1 ) R 1, (8) ( ) 1 m 2 R 1 =2rn e κ 1. (9) 2kT a Ëμ ³Ê² Ì (7)Ä(9) n e Å ±μ Í É Í Ö Ô² ±É μ μ ² ³, m n Å ³ ±μ Í É Í Ö Éμ³μ ³ ² É μ μ μ Ð É μμé É É μ, T a Å É ³ ÉÊ, V r Å μ Ñ ³ Ê ±μ²μ Ò ² ³Ò ÉμÎ- ±. (R 1 ) Å É ²Ó μ Ò, μ ²Ö ³μ Ê ²μ Ö³ μ Í ÉμÎ ± ; j + Å ²μÉ μ ÉÓ μ μ μ Éμ±, É ±ÊÐ μ Î μ²ö Ò ²μ ² ³Ò; S Å ²μÐ Ó ÊÉ μ Ì μ É Ö μ ± ³ Ò ÉμÎ ±. 4

7 ²μ Î Ò³ μ μ μ³ ³μ μ ÉÓ Ê ²μ Ö μ Ö ² ³Ò ÉμÎ ± ²Ö ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ ( ÊÌ Éμ³ ÒÌ) μ μ : j + 2 e S =3Vαn+ nω 3 +3Vn e n 2 κ 4 Ω 4, (10) j 2 + Å ²μÉ μ ÉÓ Éμ± ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ, É ±ÊÐ μ Î μ²ö Ò ²μ ² ³Ò; n +, n 2 Å ±μ Í É Í μ²μ É ²Ó ÒÌ μ μ ³μ² ±Ê² ÉμÎ ± μμé É É μ; α Å μ ÉμÖ Ö ±Í (3); ² Î Ò Ω 3, Ω 4 μ ²ÖÕÉ Ö ²μ Î μ (8). ³ ³, ÎÉμ ±μ Í É Í Ö μ²μ É ²Ó ÒÌ μ μ ÉμÎ ± n + - μ³ ² μ μ Í μ ²Ó ±μ Í É Í n n e. μ Ê - (10) ³μ μ μ μ ÉÓ: j S =9β V S n en 2 Ω ( ) 1/2 1Ω 3 m V +3Vn e xnκ 4 Ω 4, (11) υ kt e x = n 2 /n β Šʳ³ Ò ±μôëë Í É Í ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ ÉμÎ ±. μ²μ ³ É ±, ÎÉμ ² ³ ÉμÎ ± Ö ²Ö É Ö ² μ μ μ- μ, É.. n n +, n 2+, n , ÎÉμ μé Î É Ω 1 4 =1/3 [8]. ÔÉ Ì Ê ²μ ÖÌ ² Ê Ö (11) (7), É ± ÖÉ ±μéμ ÒÌ Ê μð μ É ± Ê Õ I 2 + I + = κ 2 x + β ( ) 1/2 V m n. (12) κ 1 κ 1 S kt e Ê (12) I + 2 I+ μ Î ÕÉ Éμ± μ μ, ² ± ³ÒÌ ÉμÎ ± : I + 2 = j+ 2 a; I+ = j + a, (13) a μ Î É μ Ì μ ÉÓ ³ ± ² ³Ò, ±μéμ μ μ μ Ìμ É Ô³ Ö μ μ. ² ÊÖ É ²Ó μ ² Ö μé ²Ó ÒÌ ³ É μ μμé μï ÒÏ Ê μ³ö ÊÉÒÌ Éμ±μ Ê (12), μ É ³ ² ÏÓ ³ ³ Éμ, ÎÉμ ÔÉμ μμé μï μ³ ² μ μ Í μ ²Ó μ ² Õ ³ ² - É μ μ μ Ð É ÉμÎ ± É μé μé μï Ö μ Ñ ³ Ö μ ± ³ Ò V ± μ Ì μ É S. ÔÉμ Éμα Ö μ É ³ ²Ó Ö Ëμ ³ - Ö μ ± ³ Ò Å Ï μμ Ö. 5

8 2. Š ˆŒ œ œ. 2, 3 μ± Ò É Î Ò Ì ±É É ± μ μ μ ÉμÎ ± Ëμ ³ μ μ μ ±μéμ ÒÌ Ô² ³ Éμ. Î É μ É,. 2 É - ² ³μ ÉÓ Éμ± μ μ ÊÌ Éμ³ ÒÌ ³μ² ±Ê² As, Se In μé Éμ± Ê μ μ μ Ö ± ³ ( ) μé Éμ± ± ÉÊϱ ³ É ÉμÎ ± ( ).. 3 ²²Õ É Ê É μ μ μ μ Ar. Š Ò μ± Ò ÕÉ μμé μ- Ï ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ Éμ³ ÒÌ μ ÒÌ Éμ±μ ³μ É μé Ö- Ö Ö μ Í μ μ ± ³ ÉμÎ ±. ²μ Î Ò Ô± ³ ÉÒ μ μ ² Ó É ± ²Ö Éμ±μ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ Ê Ì Ô² ³ Éμ. ʲÓÉ ÉÒ ÔÉ Ì ³ μ± Ò É ². 1, ±μéμ Ö ±²ÕÎ É Ö Î Ö ² ± ³ÒÌ ÉμÎ ± μ ÒÌ Éμ±μ Ì ³ Î ± μ Ö, ±μéμ ÒÌ μ²êî Ò ³μ² ±Ê²Ö Ò μ Ò [9]. ÔÉμ É ² Í É ± μ± μ ³Ö, μ Ìμ ³μ ²Ö μ ²ÊÎ Ö μ Íμ μ ³ μ μ ³ 2. μ± Ò. 2, 3 ʲÓÉ ÉÒ ³μ ÊÉ ÒÉÓ μ É μ μ- μ É ² Ò μé Ò³ ³ ³ Ì ³μ³ É Ö ÉμÎ ±, Î É- μ É, Ëμ ³Ê² ³ (10) (11). μ- ÒÌ, - É Ê μ É μ ². 2. ³μ É μ ÒÌ Éμ±μ μé Éμ± Ö ÉμÎ ± ( ) μ μ μ Éμ± μé Éμ± ± ÉÊϱ, μ ÕÐ ³ É μ μ² μ Ñ ³ ÉμÎ ± ( ) 6

9 . 3. ³μ ÉÓ μμé μï Ö Éμ±μ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ Éμ³ ÒÌ μ μ Ar μé Ö Ö Ö μ Í μ μ ± ³ ÉμÎ ± ²Ö ÒÌ ² Î ² Ö ÉμÎ ± p d ² Í 1. Î Ö μ ÒÌ Éμ±μ ²Ö ² Î ÒÌ Ì ³ Î ± Ì μ μî ³ ÉÊ ˆμ Ò Éμ±, ³Ö μ Ð É μ É ²Ö ² ± ³Ò ³ ² É Í ÉμÎ ±, C ÉμÎ ±, ³± μ ³ 2 H + 2 H 2 Å Li + 2 LiCl+H 2O 400 1,2 400 B + 2 B ,5 961 N + 2 N Na + 2 NaCl 400 0, Al + 2 Al , Al + 2 Al+CCl P ,4 109 Cl + 2 NaCl Ar + 2 Ar Å 1,5 320 Ga + 2 Ga 800 0,9 538 As + 2 As Se + 2 Se 350 0, Ag + 2 Ag+ CCl c 1

10 . 4. ³μ ÉÓ μμé μï Ö ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ Éμ³ ÒÌ μ ÒÌ Éμ±μ Kr μé ² Ö μ, μ μ ÒÌ Ö ÊÕ ± ³ Ê ÉμÎ ±, ²Ö ÒÌ ² Î Ö Ö Ö μ Í μ μ ± ³ ÉμÎ ± Î Ö μé ²Ó ÒÌ μ ÉμÖ ÒÌ ±Í, μ Ìμ ÖÐ Ì ÉμÎ ±. Š μ³ ÔÉμ μ, μ ³Ö ³ μ ÒÌ Éμ±μ μ Ì μ ÉÓ ³ ± ² ³Ò ³ Ö- É Ö ±μ É μ² Ê ³Ò³ μ μ³. ± Ê ² Î Éμ± Ö Ö Ê μ μ μ Ö ÉμÎ ± ³ Ö É Ö ± ± ±μ Í É Í Ö, É ± ËÊ ±Í Ö ² Ö ±μ μ É Ô² ±É μ μ ² ³. ±μ, μ μ Ò Éμ μ, ÎÉμ Ò μ ÒÌ Éμ±μ Ar Kr I + I 2 + ³ Ö² Ó μ μ ³ μ É Î ÒÌ Ô± ³ É ²Ó ÒÌ Ê ²μ ÖÌ, ÒÏ Ê± Ò É Ê μ É ³μ ÊÉ ÒÉÓ μ μ² Ò, ² ³Ò ³ ³ μ - ³ ³μ É μμé μï Éμ±μ I 2 + /I+ μé ² Ö ÉμÎ ±. ʲÓÉ ÉÒ ÔÉ Ì ³ μ± Ò. 4, 5. μ, ÎÉμ ²Ö Ï Ì Ô± ³ É ²Ó ÒÌ Ê ²μ ± Ò I 2 + /I+ ËÊ ±Í ±μ Í É Í Éμ³μ ÉμÎ ± Ö ²ÖÕÉ Ö Í Ì Ô± ³ É ²Ó μ μï ± Ö³μ² - Ò³, ÎÉμ Ê ³ É É μé Ò ³ ³ Ì ³ μ Í - ÉμÎ ±, Î É μ É Ê (12). ÊÐ É μ ² Î ³ Ê ± Ò³ ±²ÕÎ É Ö ÒÌ ² Î Ì I 2 + /I+ p 0. 8

11 . 5. ³μ ÉÓ μμé μï Ö ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ Éμ³ ÒÌ μ ÒÌ Éμ±μ Ar μé ² Ö μ, μ μ μ ÒÌ Ö ÊÕ ± ³ Ê ÉμÎ ±, ²Ö ÒÌ ² Î Ö Ö Ö μ Í μ μ ± ³ ÉμÎ ± É ² Ò Ê²ÓÉ ÉÒ μ μ²öõé μ²êî ÉÓ Ëμ ³ Í Õ μ ³ - É Ì ² ³Ò ÉμÎ ±. Î É μ É, μ ÕÉ μ ³μ μ ÉÓ μí ÉÓ μé- μï ±μ Í É Í ÊÌ Éμ³ ÒÌ ³μ² ±Ê² ± ±μ Í É Í Éμ³μ ² ³ Ö ÉμÎ ±, É ± ± ± É μ²öí Ö Ô± ³ É ²Ó ÒÌ ± ÒÌ μ Ó y É ² Î Ê κ 2 /κ 1 x. ² Í 2. É μï Ö x κ 2 κ 1 Kr Ar ²Ö ² Î ÒÌ Ö Ö U a U a,b xκ 2/κ 1 (Kr) xκ 2/κ 1 (Ar) , ,

12 ² Í 3. ˆ ³ μé μ É ²Ó μ ² Î Ò μ ÉμÖ μ ±Í β ³μ- É μé Ö Ö Ö U a U a,b β/κ 1 (Kr) β/κ 1 (Ar) 30 0,052 0, ,086 0, ,375 0,346 Š μ ² Õ, μ ÉÊ μ Éμ ³ ² É ÉÊ μé ÊÉ É ÊÕÉ Ò μ μé μï κ 2 /κ 1 ²Ö Ê ²μ, ³ ÕÐ Ì ³ Éμ ÉμÎ ±. ±μ, - ³ Ö ² É Î ± μ²μ Ö, ÎÉμ μ ÔÉ ² Î Ò μ μ μ μ Ö ±, μ²êî ³, ÎÉμ ±μ Í É Í Ö ³μ² ±Ê² 10 3 μ² ³ ÓÏ ±μ Í É - Í Éμ³μ ÉμÎ ±. ˆ É μ, ÎÉμ ²Ö ² ³Ò ± ³ Ö ³ Ö (U =30 ) ² Î ² ± ± Ê²Õ (É ². 2). É ² Ò ± Ò μ μ²öõé É ± μí ÉÓ μé μ É ²Ó ÊÕ ² - Î Ê μ ÉμÖ μ ±Í β É Í Õ ³ Ö ËÊ ±Í Ö Ö Ö U a, ɲ ÕÐ μ μ Í μ μ ± ³ ÉμÎ ± (É ². 3). 1. Ò É ². 1 Ò μ μ²öõé μí ÉÓ ² Î Ò Éμ±μ ³μ² ±Ê²Ö ÒÌ μ μ, ² ± ³ÒÌ ÉμÎ ±μ ³ É μ μ μ É. 2. μé Ë ±É, ÎÉμ μ²êî Ò Ô± ³ É ²Ó Ò Ê²ÓÉ ÉÒ μé μ É ²Ó μ Ìμ μïμ μ ² ÊÕÉ Ö É μ É Î ± ³, μ± Ò É, ÎÉμ ²Ö Ï Ì Ê ²μ ÉμÎ ± μ ³μ μ ÖÉÓ Ê μð Ö, ±μéμ Ò ÒÉ ± ÕÉ ±μ ²μÉ μ É ² ³Ò, μ²ó μ ÉÓ ²Ö μ ² Ö Éμ±μ I 2 + I + Ê - Ö (10), (11). 3. ˆ É μ²öí ± ÒÌ I 2 + /I+ ²Ö p 0 μ Ó y ³μ μ μí ÉÓ μé- μï ±μ Í É Í ³μ² ±Ê² ± ±μ Í É Í Éμ³μ Ö μ ± ³ ÉμÎ ±. Ï Ì Ô± ³ É ²Ó ÒÌ Ê ²μ ÖÌ ±μ Í É Í Ö ÔÉ Ì ³μ² - ±Ê² Ö μ ± ³ ÉμÎ ± 3Ä4 μ Ö ± ³ ÓÏ ±μ Í É Í Éμ³μ. 4. μ²êî Ò ³ ʲÓÉ ÉÒ μ μ²öõé μ ² ÉÓ μé μ É ²Ó Ò - Î Ö β/κ 1 ²Ö ÒÌ Ö Ö (É ². 2). μé Ò μ² Ë μ μ μ ± É ˆ º

13 ˆ 1. Maczka D., Latuszynski A., Kuduk R., Partyka J. // Nucl. Instr. Meth. B V. 21. P Kalinnikov V. G., Gromov K. Ya., Janicki M., Yuskevich Yu. V., Evtisov S.V. // Nucl. Instr. Meth. B V. 70. P Ë Ó.., ƒ μ³μ ˆ. ˆ., Œμ α., ±μ. ˆ. // μ Ò É Ì ± Ô± ³ É T. 1. C Ë Ó... μμ Ð ˆŸˆ Ê, Zuk W., Maczka D., Pomorski J. // Nucl. Instr. Meth V. 37. P Drozdziel A., Latuszynski A., Maczka D., Pyszniak K. // Nucl. Instr. Meth. B V P ÖÉÊÏ ±., Œμ α., ϱ Î.. μμ Ð ˆŸˆ Ê, Maczka D., Latuszynski A., Kobzev A. P., Yushkevich Yu. V., Vaganov Yu. A., Drozdziel A. JINR Comm. E Dubna, Šμ ± Š., Š Ð ± Š., ÖÉÊÏ ±., Œμ α., ÉÒ± Ÿ., ϱ Î.. μμ Ð ˆŸˆ Ê, μ²êî μ 4 Ê É 2009.

14 ±Éμ Œ. ˆ. Ê μ μ Î ÉÓ μ ³ É 60 90/16. ʳ μë É Ö. Î ÉÓ μë É Ö. ². Î. ². 0,87. Î.-. ². 1, Ô±. ± º ˆ É ²Ó ± μé ² Ñ μ μ É ÉÊÉ Ö ÒÌ ² μ ,. Ê, Œμ ±μ ± Ö μ ²., ʲ. μ² μ-šõ,